CorningULE®7973是一种含钛硅酸盐低膨胀玻璃，这种玻璃专为满足遮 蔽需求及用作紫外线光刻用途的光学基板而设计。7973 与 ULE® 7972 玻璃有相似的组成，也是采用相同的气相沉积工艺制作的。光刻技术从 193nm向13.4nm工艺发展中所需要的一个主要的设计转变，是步进光组由折射专为反射。 在反射光学中，基板材料应该是纯粹无源的。入射光应被多层光学涂层及光掩膜反射开，不会因底层基板造成任何机械或光学上的变形。为了使微小温度变化造成的变形减到最小，并达到严格的紫外线光刻规范，基板的热膨胀系数(CTE)必须接近于零，并在膨胀范围内严格控制在零附近。极低的热膨胀系数需要达到每摄氏度十亿分之一(ppb/C) 。